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AnPT V30 系列等离子机
2020-10-14 15:39:39
V30 系列等离子机
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型号 |
AnPT-V30 |
AnPT-V30X |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 挂架需要定制) |
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标准 |
22x27”(30片) |
25x30”(30片) |
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最大 |
27x44”(15片) |
30x50”(15片) |
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Cycle Time |
Desmear |
20-30min |
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Desmear+活化 |
30-45min |
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产能 |
Desmear |
60-90 pnl/hour |
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Desmear+活化 |
30-45 pnl/hour |
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均匀性 |
>80% |
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左中右三槽；每槽5-9个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
10KW/40KHz |
10KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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升温速率 |
1-2℃/min; (独特设计，减少升温时间) |
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