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AnPT RTR系列等离子机
2020-10-14 15:47:38
RTR 系列等离子机
AnPT R250/R500 系列等离子机
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型号 |
AnPT-R250 |
AnPT-R500 |
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生产板尺寸 |
板厚 |
25-400um |
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宽度 |
50-250mm |
50-500mm |
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产能（速度） |
孔Desmear |
0.5-4 m/min |
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表面处理 |
0.5-5m/min |
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均匀性 |
>80% |
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每槽3个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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纠偏精度 |
+/-1mm |
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张力控制 |
20 – 100 N （专利的防腐控制） |
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卷料最大直径 |
350mm |
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卷轴尺寸 |
3/6" (特殊的防腐卷轴） |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
5KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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升温速率 |
1-2℃/min; (独特设计，减少升温时间) |
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