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H30 系列等离子机
2022-02-28 14:24:47
H30系列等离子机
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型号 |
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AnPT-H30D |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.03-12mm |
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电极尺寸 |
最大 |
550x630mm |
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层数 |
双排15*2 |
30 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清洁活化 |
10-15min |
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产能（500x250mm) |
Desmear |
60pnl/hour |
120 pnl/hour |
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表面清洁活化 |
60 pnl/hour |
120 pnl/hour |
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均匀性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5 个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工艺真空度 200-300mT |
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射频电源 |
5-10KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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