产品中心
AnPT V36 系列等离子机
2022-02-28 15:18:23
V36 系列等离子机
|
型号 |
|
AnPT-V36 |
AnPT-V36X |
|
|
生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 挂架需要定制) |
||
|
标准 |
|
22x27' (36片) |
25x30”(36片) |
|
|
最大 |
|
27x44' (18片) |
30x50”(18片) |
|
|
Cycle Time |
Desmear |
20-30min |
||
|
Desmear+活化 |
30-45min |
|||
|
产能 |
Desmear |
72-108 pnl/hour |
||
|
Desmear+活化 |
36-54 pnl/hour |
|||
|
均匀性 |
>80% |
＞80% |
||
|
左中右三槽；每槽5-9个点 |
||||
|
蚀刻速率 |
>0.3um/min |
>0.3um/min |
||
|
CF4用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
|||
|
真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT |
|||
|
射频电源 |
|
10KW/40KHz |
10KW/40KHz |
|
|
氮气发生器纯度 |
99% |
|||
|
升温速率 |
1-2℃/min; (独特设计，减少升温时间) |
|||
【返回】