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AnPT NP001 系列等离子
2022-03-11 09:21:46
优异的均匀性、高产能；低生产成本
n 满足MSAP/HDI板,Flex/Rigid-Flex等各 种产品和工艺制程应用需求，具有良好的工艺性能
n 优异的工艺性能，具备较高的处理均匀性
n 水平-双极馈电型电极，保证产品双面同步均匀处理
n 独特的气体分配及优化的抽气导流设计
n 高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求
n 可灵活配置电极及气体分配方案，适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求
n 触控式操作界面，直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量
n 整机设计紧凑，一体化设计整合各组件于主机器内， 占地面积小
n 极低的生产保养成本、维护简单便捷
n 13.56GHz自适应射频电源，具有优异的稳定性和工艺可重复性
n PCB印刷电路板行业
n COB,COF,IC载板及半导体行业
n LED、LCD、玻璃行业
n 电子行业及工业应用
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AnPT NP001 系列等离子 |
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型号 |
AnPT-NP001 |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 托盘需要定制) |
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三流道 |
220-280×50-116mm（x＊y） |
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四流道 |
220-280×50-85mm（x ＊y） |
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活化 |
10-15秒 |
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抽真空+活化+破真空 |
30-40秒 |
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水滴角 |
＜30° |
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打印值 |
40-50dyne/cm |
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气体用量 |
O2/Ar 30ml/min；破真空氮气30ml/min |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
500W/13.56GHz |
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气体纯度 |
99.999% |
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