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DHCP等离子机
2025-07-11 16:01:34
DHCP 系列等离子机
特别适合FPC, COF,ACF 以及IC 载板生产 应用于◼ 表面清洁、去氧化、定向咬蚀
◼ 活化改性，提升附着力和可涂覆性
◼ 除胶，除绿油、干膜显影残留均匀性好，产能高 一体式挂架可水平装载
基板，装载快捷简便
设计紧凑实用，生产高效经济;占地面积小，耗气量低
实时温控电极确保工艺稳定和可重复性操作简单，维护便捷
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型号：AnPT-DHCP |
DHCP02A |
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板厚 |
0.05-3mm |
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电极尺寸 |
625*525mm |
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层数 |
2 |
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Cycle Time |
Desmear |
10-60S |
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表面清洁活化 |
10-30S |
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产能（500x250mm) |
Desmear |
80-120 pnl/hour |
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均匀性 |
>85% |
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四角加中间 5 个点 |
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蚀刻速率 |
>5mg/min |
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CF4 用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<40mT, 漏率<10mT/min; 工艺真空度 150-300mT |
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射频电源 |
5KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
/ |
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